中國教育報-中國教育新聞網(wǎng)訊（記者 陳欣然 通訊員 梁紹楠）微型LED被廣泛認為是下一代高端顯示技術(shù)的核心元件，而如何實現(xiàn)微型LED晶圓從生產(chǎn)到終端集成的全過程良率檢測，一直是困擾業(yè)界的難題，也阻礙了基于微型LED的終端產(chǎn)品如大面積顯示屏、柔性顯示屏的量產(chǎn)。近日，天津大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器全國重點實驗室、精儀學(xué)院感知科學(xué)與工程系黃顯團隊打破微型LED晶圓測試瓶頸，實現(xiàn)微型LED晶圓高通量無損測試，研究成果日前在電氣領(lǐng)域頂級期刊《自然—電子學(xué)》（Nature Electronics）刊發(fā)。

研究團隊首次提出了一種基于柔性電子技術(shù)的巨量LED晶圓的無損接觸式電致發(fā)光檢測方法，該方法構(gòu)建了包含彈性微柱陣列和可延展柔性電極陣列堆疊的三維結(jié)構(gòu)柔性探針陣列。該研究在柔性電子與半導(dǎo)體測試領(lǐng)域取得了關(guān)鍵突破，打破了微型LED大規(guī)模電致發(fā)光檢測的技術(shù)瓶頸，首創(chuàng)微型LED晶圓高通量、無損檢測技術(shù)，實現(xiàn)了微型LED電致發(fā)光檢測技術(shù)從零到一的突破，為其他復(fù)雜晶圓如CPU、FPGA檢測提供了革命性技術(shù)方案。

該技術(shù)已在天開園核心區(qū)成立的萬柔科技和孚萊感知半導(dǎo)體公司開啟產(chǎn)品化進程，未來將為國內(nèi)微型LED產(chǎn)業(yè)提供批量化、無損、低成本的檢測解決方案，推動我國自主知識產(chǎn)權(quán)的原創(chuàng)性先進檢測裝備達到世界領(lǐng)先水平，進一步拓展了柔性電子技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。該項技術(shù)也為面向AR/VR等應(yīng)用場景的高良率面板制程奠定了基礎(chǔ)，隨著探針陣列規(guī)模與檢測通道的持續(xù)拓展，未來或?qū)⒃诰A級集成檢測、生物光子學(xué)等領(lǐng)域產(chǎn)生更廣泛影響。